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发明名称 COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06231683(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930019895 申请日期 1993.02.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 ATOBE TAKASHI
分类号 C23C4/00;H01J9/20;(IPC1-7):H01J9/20 主分类号 C23C4/00
代理机构 代理人
主权项
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