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发明名称 PART EXISTENCE DETECTING PROBE FOR CIRCUIT BOARD INSPECTION MACHINE
摘要
申请公布号 JPH06230063(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930034207 申请日期 1993.01.29
申请人 HIOKI EE CORP 发明人 HORI SEIICHI
分类号 G01R31/02;G01R31/28;H01L21/70;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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