| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06232398(A) |
申请公布日期 |
1994.08.19 |
| 申请号 |
JP19920334699 |
申请日期 |
1992.12.15 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SANO HIROSHI;FURUTA MAMORU;YOSHIOKA TATSUO;KAWAMURA TETSUYA;MIYATA YUTAKA |
| 分类号 |
H01L29/786;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 |
主分类号 |
H01L29/786 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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