发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06232404(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930032442 申请日期 1993.01.29
申请人 CANON INC 发明人 INOUE SHUNSUKE;HOSHI JUNICHI;WATANABE TAKANORI
分类号 H01L21/265;H01L21/00;H01L21/683;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784;H01L21/336 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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