发明名称 PROBE CARD UTILIZING SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH06230030(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930014327 申请日期 1993.01.29
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 MASUI SHOICHI;HASHIGUCHI GEN
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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