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经营范围
发明名称
PROBE CARD UTILIZING SILICON WAFER
摘要
申请公布号
JPH06230030(A)
申请公布日期
1994.08.19
申请号
JP19930014327
申请日期
1993.01.29
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
MASUI SHOICHI;HASHIGUCHI GEN
分类号
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
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