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发明名称
SPRAY COATING METHOD
摘要
申请公布号
JPH06231681(A)
申请公布日期
1994.08.19
申请号
JP19930019892
申请日期
1993.02.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
KURIBAYASHI YUKIO
分类号
C23C4/00;H01J9/20;(IPC1-7):H01J9/20
主分类号
C23C4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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