发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06232248(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930014334 申请日期 1993.02.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIYAJIMA MOTOMORI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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