| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06232142(A) |
申请公布日期 |
1994.08.19 |
| 申请号 |
JP19930013242 |
申请日期 |
1993.01.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAKURAI YOSHIHIKO;AOYANAGI RYOICHI |
| 分类号 |
H01L21/329;H01L21/205;H01L31/107;(IPC1-7):H01L21/329 |
主分类号 |
H01L21/329 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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