REDUCTION PROJECTION ALIGNER @(3754/24)STEPPER),申请号JP19930019867-传众专利搜索

发明名称	REDUCTION PROJECTION ALIGNER @(3754/24)STEPPER)
摘要
申请公布号	JPH06232029(A)	申请公布日期	1994.08.19
申请号	JP19930019867	申请日期	1993.02.08
申请人	HITACHI LTD	发明人	KOMURO OSAMU
分类号	G03B27/32;G03B27/34;G03F7/20;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03B27/32
代理机构		代理人
主权项
地址