MARKING DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL INGOT,申请号JP19930040498-传众专利搜索

发明名称	MARKING DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL INGOT
摘要
申请公布号	JPH06232015(A)	申请公布日期	1994.08.19
申请号	JP19930040498	申请日期	1993.02.04
申请人	RIGAKU CORP	发明人	MACHITANI YOSHIRO
分类号	H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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