发明名称 POLISHING APPARATUS OF D-TYPE GAAS WAFER
摘要
申请公布号 KR940005555(Y1) 申请公布日期 1994.08.18
申请号 KR19920002075U 申请日期 1992.02.13
申请人 GOLDSTAR CABLE CO., LTD. 发明人 LEE, MAN - U
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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