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发明名称 FOTORESIST-ZUSAMMENSETZUNG.
摘要
申请公布号 DE68915148(T2) 申请公布日期 1994.08.18
申请号 DE1989615148T 申请日期 1989.02.17
申请人 TOSOH CORP., SHINNANYO, YAMAGUCHI, JP 发明人 YAMAMOTO, TAKASHI, KANAGAWA-KEN 243-04, JP;TODOKO, MASAAKI, KANAGAWA-KEN 252, JP;SEITA, TORU, KANAGAWA-KEN 243, JP;NAGAOKA, KYOKO, KANAGAWA-KEN 243, JP;MATSUMURA, KOSABURO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN 227, JP
分类号 G03F7/012;G03F7/023;(IPC1-7):G03F7/012 主分类号 G03F7/012
代理机构 代理人
主权项
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