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发明名称
METHOD FOR CLEANING AND APPARATUS THEREOF
摘要
申请公布号
EP0587889(A4)
申请公布日期
1994.08.17
申请号
EP19920910166
申请日期
1992.05.13
申请人
OHMI, TADAHIRO
发明人
OHMI, TADAHIRO
分类号
H01L21/304;B08B7/00;C23G1/24;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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