发明名称 METHOD FOR CLEANING AND APPARATUS THEREOF
摘要
申请公布号 EP0587889(A4) 申请公布日期 1994.08.17
申请号 EP19920910166 申请日期 1992.05.13
申请人 OHMI, TADAHIRO 发明人 OHMI, TADAHIRO
分类号 H01L21/304;B08B7/00;C23G1/24;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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