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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0630850(Y2) 申请公布日期 1994.08.17
申请号 JP19890047670U 申请日期 1989.04.25
申请人 发明人
分类号 C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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