发明名称 Holder for disc-like articles.
摘要 <p>Ein Träger (1), an dem scheibenförmige Gegenstände auf einem Gaspolster, der nach dem Bernoulli-Prinzip von einem aus einer Düse (12) in der dem Gegenstand zugekehrten Fläche des Trägers austretenden Druckgas gebildet wird, sind ringsherum Nocken (45) als seitliche Anschläge für den scheibenförmigen Gegenstand vorgesehen. Die Nocken (45) sind an im Träger (1) verdrehbaren Wellen (44) exzentrisch angeordnet. Die Wellen (44) können mit Hilfe eines im Träger aufgenommenen Zahnkranzes (40) zum radialen Verstellen der Nocken (45) verdreht werden. Der Raum (31, 33), in dem der Zahnkranz (40) aufgenommen ist, ist gegenüber dem Raum (50, 53, 54), durch den das Druckgas zur Düse (12) strömt, getrennt und abgedichtet. So wird verhindert, daß die Strömung des Gases durch den Verstellmechanismus für die Nocken (45) beeinträchtigt wird und daß vom Gas Abrieb mitgeführt und aus der Düse (12) gegen den zu behandelnden Gegenstand geblasen wird. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP0611274(A1) 申请公布日期 1994.08.17
申请号 EP19940890006 申请日期 1994.01.13
申请人 SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG GESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 SUMNITSCH, FRANZ
分类号 H01L21/00;H01L21/306;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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