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经营范围
发明名称
Filamentless magnetron ion source and its utilization process.
摘要
申请公布号
EP0315986(B1)
申请公布日期
1994.08.17
申请号
EP19880118738
申请日期
1988.11.10
申请人
TECHNICS PLASMA GMBH
发明人
MOEHL, WOLFGANG, DR, DIPL.-PHYS.
分类号
H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/18
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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