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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0662360(B2)	申请公布日期	1994.08.17
申请号	JP19870200352	申请日期	1987.08.10
申请人		发明人
分类号	C23C14/08;C23C14/34;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):C30B29/22	主分类号	C23C14/08
代理机构		代理人
主权项
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