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发明名称 Epitaxial deposition of thin films.
摘要
申请公布号 EP0336672(B1) 申请公布日期 1994.08.17
申请号 EP19890303249 申请日期 1989.04.03
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 EPLER, JOHN E.;CHUNG, HARLAN F.;PAOLI, THOMAS L.
分类号 H01L21/205;C23C16/04;C23C16/52;H01L21/263;H01S5/00;(IPC1-7):C23C16/04;C23C16/48;C30B25/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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