激光烧蚀扫描法

摘要

本发明公开了一种改进的通过烧蚀修整靶面的方法，能够减少被烧蚀的有机物残渣在靶面上的沉积。

主权项

1、一种光致烧蚀靶面的方法，包括步骤：a)将脉冲紫外幅射光束射在靶面上予定的起始扫描区；b)使所述光束沿离开所述予定起始扫描区并朝向靶面第一边缘的方向扫描；c)以递进的方式旋转靶；d)使光束返回靶面上所述予定起始扫描区；e)使所述光束沿着离开所述予定起始扫描区并朝向与所述靶面第一边缘相反的另一边缘的方向扫描，并依序重复上述步骤c)、d)和e)，使整个靶面受到扫描。