Support for a measuring scale.

摘要

Die Erfindung betrifft einen Teilungsträger für lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßsysteme. Auf dem Teilungsträger ist eine Teilung in Form eines Phasengitters ausgebildet, das abwechselnd erhabene Bereiche (52) und abgestufte Bereiche (53) aufweist. Auf einer Seite eines stufenförmig strukturierten Grundkörpers (51) ist eine durchgehende Kompensationsschicht (55) aus Cr und darauf wiederum eine durchgehende hochreflektierende Schicht (54) aus TiN aufgebracht. Das Material und die Schichtdicke der Kompensationsschicht (55) ist so gewählt, daß sie den mechanischen Spannungen der reflektierenden Oberflächenschicht (54) entgegenwirkt und somit die aufgebrachten Schichten (54, 55) im fertigen Zustand des Teilungsträgers keine Spannungen auf den Grundkörper (51) ausüben. <IMAGE>