| 发明名称 |
Method and apparatus for plasma processing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2251977(B) |
申请公布日期 |
1994.08.17 |
| 申请号 |
GB19910023487 |
申请日期 |
1991.11.05 |
| 申请人 |
* APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
KENNETH S * COLLINS;CHAN-LON * YANG;JOHN M * WHITE |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/40;C23C16/50;C23C16/509;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/04 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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