发明名称 Holder for disc-like articles.
摘要 <p>In einem Träger (100) für einen scheibenförmigen Gegenstand ist in der dem scheibenförmigen Gegenstand zugekehrten Fläche (9, 10) eine Düse (8) vorgesehen, aus welcher Gas austritt und den scheibenförmigen Gegenstand durch den aufgrund des Bernoulli-Prinzips entstehenden Unterdrucks gegen einen in der dem Gegenstand zugekehrten Fläche (10) vorgesehenen, kreisringförmigen Vorsprung (108) hält. Der Vorsprung (108) ist in Richtung der Achse (14) des Trägers (100), d.h. senkrecht zu der dem Gegenstand zugekehrten Fläche (10) des Trägers (100) elastisch nachgiebig, so daß der Gegenstand gegen Verschieben in einer zur Fläche (10) parallelen Richtung sicher am Träger (100) gehalten wird, ohne daß es erforderlich ist, seitliche Abstützungen, wie Nocken od. dgl. vorzusehen. Dadurch, daß seitliche Abstützungen entbehrlich sind, behindern diese auch nicht das Abströmen von Behandlungsflüssigkeit vom Rand des Gegenstandes, der an dem Träger (100) festgehalten ist. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP0611273(A1) 申请公布日期 1994.08.17
申请号 EP19940890002 申请日期 1994.01.03
申请人 SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG GESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 SUMNITSCH, FRANZ
分类号 C23F1/08;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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