发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING FILM
摘要
申请公布号 JPH06226183(A) 申请公布日期 1994.08.16
申请号 JP19930019739 申请日期 1993.02.08
申请人 NEC HOME ELECTRON LTD 发明人 KUMAGAI NAOMICHI
分类号 B05C7/02;B05C9/14;B05C11/10;B05C13/02;B05D3/02;B05D7/22;H01J9/22;(IPC1-7):B05C7/02 主分类号 B05C7/02
代理机构 代理人
主权项
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