发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 RU1251749(C) 申请公布日期 1994.08.15
申请号 SU19853860901 申请日期 1985.03.04
申请人 GOSUDARSTVENNOE PREDPRIYATIE "VOSKHOD" 发明人 PANIN V.M.;BODUNOVA A.S.;MARKMAN L.M.;ALEKSAKHIN N.N.
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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