| 发明名称 |
PROCESS OF FORMATION OF LINEAR SUBMICRON STRUCTURES IN SEMICONDUCTOR AND DIELECTRIC PLATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1575829(C) |
申请公布日期 |
1994.08.15 |
| 申请号 |
SU19884492956 |
申请日期 |
1988.10.12 |
| 申请人 |
NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "PULSAR" |
发明人 |
ALEJNIKOVA E.A.;SUTYRIN V.M.;KHRITKIN V.V. |
| 分类号 |
H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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