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发明名称 MANUFACTURE OF SOI SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224395(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930027311 申请日期 1993.01.24
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA TADASHI
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/318;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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