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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224235(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930009212 申请日期 1993.01.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 MAGARA MASATAKA;TAKADA MASANORI;MURAKAMI SUSUMU;YOKOTA TAKESHI;MOCHIZUKI YASUHIRO
分类号 H01L21/52;H01L29/74;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
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