发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06224193(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930010851 申请日期 1993.01.26
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 AWAYA NOBUYOSHI;ARITA MUTSUNOBU
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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