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发明名称 CAF2 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06224175(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930199636 申请日期 1993.08.11
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 MONTE EI DAGURASU
分类号 C30B29/10;C30B33/08;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C30B29/10
代理机构 代理人
主权项
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