| 发明名称 |
FILM QUALITY ESTIMATING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06224126(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
| 申请号 |
JP19930009596 |
申请日期 |
1993.01.25 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
FURUI TATSUYA;NAKAMURA MITSUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
