发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06224312(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930009194 申请日期 1993.01.22
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 ISOBE YOSHIHIKO;IIDA MAKIO;ISHIHARA OSAMU
分类号 H01L21/768;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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