| 发明名称 |
JIG FOR CONVEYANCE OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06224283(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
| 申请号 |
JP19930031099 |
申请日期 |
1993.01.28 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
ICHIJIMA MASAHIKO;OTO TAKASHI;SASAKI YASUMI;SOTODANI EIICHI;KASAHARA MASATOSHI;KON NORIKAZU |
| 分类号 |
B65G49/07;B65G51/03;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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