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发明名称
ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06223771(A)
申请公布日期
1994.08.12
申请号
JP19930013483
申请日期
1993.01.29
申请人
SONY CORP
发明人
SUGIMURA SHINICHI
分类号
H01J37/16;H01J27/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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