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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06224346(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930027628 申请日期 1993.01.23
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 YAMAMURA YASUSHI
分类号 C23F1/18;C23F1/20;C23F1/28;C23F1/36;C23F1/44;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 C23F1/18
代理机构 代理人
主权项
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