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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06224186(A)
申请公布日期
1994.08.12
申请号
JP19930011964
申请日期
1993.01.27
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
MACHIDA YOSHIHIKO
分类号
H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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