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发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224269(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930011641 申请日期 1993.01.27
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KUROSAWA HIROSHI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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