发明名称 |
MICROSCOPIC PATTERN FORMING METHOD |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06224118(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
申请号 |
JP19930011400 |
申请日期 |
1993.01.27 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HASHIMOTO KAZUHIKO;TAMAOKI NORIHIKO;FUJII TOYOKAZU |
分类号 |
G03F7/11;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/11 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|