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发明名称 DEFECT INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH06221830(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930010525 申请日期 1993.01.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWATA HISAFUMI;MATSUYAMA YUKIO;SHIMODA ATSUSHI
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/952;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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