发明名称 |
IONIZED CELL AND GROWTH METHOD FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM USING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06224124(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
申请号 |
JP19930143233 |
申请日期 |
1993.06.15 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
BUSSHU TERUO;KASHIMA HIDEO;HOSOMI KAZUHIKO |
分类号 |
C23C14/24;C23C16/44;C23C16/452;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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