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发明名称 VAPOR CRYSTAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06224134(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930012166 申请日期 1993.01.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OTA YOICHIRO;OKURA YUJI
分类号 C30B23/02;C30B25/14;C30B25/16;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
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