| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06224181(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
| 申请号 |
JP19930012744 |
申请日期 |
1993.01.28 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ABE MASAYASU;MASE KOICHI;KATSURA TOSHIHIKO;AOYAMA MASAHARU |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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