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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH06223756(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930010553 申请日期 1993.01.26
申请人 JAPAN STEEL WORKS LTD:THE 发明人 TSUJIKAWA HIROSHI;SASAKI TAKAO
分类号 H01J27/16;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
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