发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224160(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930009996 申请日期 1993.01.25
申请人 SHARP CORP 发明人 HIRAIWA AKITO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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