发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224120(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19910227568 申请日期 1991.09.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INOUE RIICHI
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址