发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224238(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930010686 申请日期 1993.01.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 HIGUCHI TORU;KANO TAKESHI;WADA TSUKUO
分类号 H01L21/56;H01L23/28;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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