| 发明名称 |
CONTACTLESS PLASMA FORM CONTROL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06223998(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
| 申请号 |
JP19930010410 |
申请日期 |
1993.01.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
YOSHIDA MITSUHIRO;KATO MITSUO;KATSURA TOSHIAKI |
| 分类号 |
H05H1/16;(IPC1-7):H05H1/16 |
主分类号 |
H05H1/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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