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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224182(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930031279 申请日期 1993.01.27
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 FUSE AKIHIRO
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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