| 发明名称 |
METHOD FOR DRYING ELECTRODEPOSITED RESIST FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06222562(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
| 申请号 |
JP19930012447 |
申请日期 |
1993.01.28 |
| 申请人 |
NIPPON PAINT CO LTD |
发明人 |
MATSUO SEIICHI;OSADA KOICHI;TANAKA SHIGEHARU;SHIMIZU MAKOTO |
| 分类号 |
C25D13/00;G03F7/16;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/16 |
主分类号 |
C25D13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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