发明名称 |
METHOD FOR TWO-DIMENSIONAL MEASUREMENT OF LIGHT AND METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SURFACE ROUGHNESS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06221811(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
申请号 |
JP19920193143 |
申请日期 |
1992.06.26 |
申请人 |
NIPPON SEIKI CO LTD;KURITA MASANORI |
发明人 |
KURITA MASANORI |
分类号 |
G01B11/00;G01B11/30;G01J1/02;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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