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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06223997(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930026267 申请日期 1993.01.21
申请人 TDK CORP 发明人 MOROOKA HISAO;OGURIYAMA MASAMI;YOKOTA HIDEAKI
分类号 H05H1/11;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/11 主分类号 H05H1/11
代理机构 代理人
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